Система Mach имела в качестве предшественницы систему RIG - Rochester Intelligent Gateway, начало разработки которой пришлось на 1975 год. RIG была написана для 16-битового мини-компьютера компании DataGeneral под названием Elipce. Целью этой разработки была демонстрация возможностей структурирования операционной системы и представления ее в виде набора процессов, которые могут взаимодействовать между собой путем передачи сообщений, в том числе и по сети. Затем эта операционная система была улучшена путем добавления средств защиты и средств прозрачной работы в сети и получила название Accent (в 1981 году, в университете Карнеги-Меллона). В 1984 году она уже использовалась на 150 компьютерах PERQ - ранних графических станциях, но проиграла соревнование с UNIX'ом. Это обстоятельство побудило создать третье поколение ОС, использующей механизм обмена сообщениями. Этот проект и был назван Mach. В связи с тем, что Mach проектировалась как система, совместимая с UNIX, планировалась поддержка большого количества приложений для UNIX. Кроме совместимости с UNIX, в Mach были введены и другие усовершенствования, включая нити, улучшенные механизмы межпроцессного взаимодействия, поддержка многопроцессорных систем, улучшенная виртуальная память и др. В это время агентство DARPA искало операционную систему для поддержки мультипроцессоров. Выбор был сделан в пользу университета Карнеги-Меллона, и работы над ОС Mach были продолжены. Было решено сделать эту систему совместимой с 4.2BSD путем комбинации Mach и 4.2BSD в виде единого ядра. Хотя этот подход привел к большому ядру, он гарантировал абсолютную совместимость. Первая версия Mach была реализована в 1986 году для VAX11/784, 4-х процессорной машины. Вскоре эта ОС была перенесена на IBM PC RT и Sun 3. К 1987 году Mach выполнялась также на мультипроцессорах Encore и Sequent. Хотя Mach и имела сетевые средства, ее скорее можно было отнести к ОС отдельной машины или мультипроцессора, а не к сетевой распределенной прозрачной системе. Вскоре была создана организация производителей компьютеров OSF (IBM, DEC, Hewlett Packard) для того, чтобы отобрать контроль над ОС UNIX у ее собственника AT&T. Они выбрали Mach 2.5 в качестве основы для их первой операционной системы OSF/1. Хотя Mach 2 и OSF/1 содержали большое количество кода Berkeley и AT&T, была надежда, что OSF, по крайней мере, сможет контролировать направление развития UNIX. В 1988 году ядро Mach 2.5 было большим и монолитным из-за того, что содержало большое количество кода Berkeley UNIX. А в 1989 году университет Карнеги-Меллона удалил весь код BSD UNIX из ядра и поместил его в пользовательское пространство. То, что осталось, было микроядром, состоящим из чистого кода Mach. Эта версия 3.0 и используется как основа последующих версий OSF.